Thermal Evaporator(열진공증착법)

Thermal Evaporator(열진공증착법) Thermal Evaporator( 열진공증착법 ) 은 가장 기본적인 물리적 박막형성 방법 이다 . 이름에서도 알 수 있듯이 진공의 환경에서 사용된다 . 진공에서 증착을 하는데 증착은 박막을 만드는 물질이 원자나 분자 혹은 입자가 기체 상태로 증발되어 기판을 만나 기판의 표면에서 다시 고체 상태로 변하는 현상을 말한다 . 그 표면은 기체 상태인 물질을 고체 상태로 만들기 위해 낮은 온도를 띄고 있다 . Thermal Evaporator의 구조는 Vaccum Chamber(진공 챔버), Source material(재료 소스), Substrate(기판), 발열체, 진공 펌프 등이 있다. 챔버의 내부는 진공 펌프를 이용해 진공상태를 유지한다 . 진공도는 10^(-4) torr 이하로 고진공을 만들어낸다 . 그리고 전기적 저항을 통하여 박막의 재료가 되는 물질에 열을 가한다 . 박막의 재료가 되는 물질은 높은 열을 받게 되면 기체 상태로 변한다 . 기체 상태가 된 물질은 챔버 내에 분산되며 날아간다 . 이 기체의 물질은 기판까지 날아가다가 기판의 차가운 표면에 닿는다 . 그러면 기체인 물질은 기판의 표면에서 고체로 응축되어 박막이 만들어진다 . PVD 관련 자료 링크 Sputtering(스퍼터링) 진공 증착법 Thermal Evaporator(열진공증착법) Electronic-Beam Evaporator(E-Beam 진공증착법) CVD 관련 자료 링크 Chemical Vapor Deposition(CVD, 화학증착법) If there's something wrong, please comment. 사용하시는 기종에 따라 블로그 내용이 잘리거나 겹쳐서 보일 수 있습니다 . ...